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Mikrosystemtechnik für Ingenieure

HardcoverKartoniert, Paperback
Verkaufsrang4453inChemie
EUR89,90

Beschreibung

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiftenLehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in dieseminterdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere dieKapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologienwurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspektehinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin ineinzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen derMikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einerVielzahl von High-Tech Entwicklungen.
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Details

ISBN/EAN/Artikel978-3-527-30536-0
ProduktartHardcover
EinbandKartoniert, Paperback
Verlag
Erschienen am09.05.2005
Auflage3., überarb. u. erw. Aufl.
Reihen-Nr.1130536 000
Seiten574 Seiten
SpracheDeutsch
Illustrationen250 SW-Abb., 15 Tabellen
Artikel-Nr.8094002
KatalogZeitfracht
Datenquelle-Nr.923350026
Weitere Details

Autor

Wolfgang Menz, geb. 1938 in Berlin, studierte Physik in Bonn und Hamburg. Nach über 20 Jahren Tätigkeit in der Industrie (IBM und Robert Bosch GmbH) erhielt er einen Ruf an die Universität Karlsruhe und wurde gleichzeitig zum Leiter des Instituts für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der Universität Karlsruhe berufen. 1995 erhielt er den Ruf als Gründungsdekan des Fakultät für Angewandte Wissenschaften der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg i. Br. Prof. Menz war bis Oktober 2001 geschäftsführender Direktor des Instituts für Mikrosystemtechnik (IMTEK) und bis 2004 Orinarius für Prozesstechnologie. Seit Frühjahr 2004 ist er emeritiert.Jürgen Mohr, geb. 1957 in Karlsruhe, studierte Physik an der Universität Karlsruhe. Direkt nach dem Studium fand er durch seine Anstellung am Institut für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe Zugang zur Mikrosystemtechnik. Er promovierte 1987 mit einer Arbeit auf dem Gebiet der Röntgenlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen. Im Jahre 1993 wurde er Leiter der Abteilung Röntgentiefenlithographie am Institut für Mikrostrukturtechnik. Außer für die Prozessentwicklung ist er heute für die anwendungsorientierte Forschungsarbeiten im Bereich der Mikrooptik am Forschungszentrum verantwortlich.